| Título: |
Modelo del voltaje de descarga en depósitos de ZrOX por erosión iónica reactiva |
| Autores: |
García-Gradilla, V. Soto-Herrera, G. Machorro-Mejía, R. Mitrani-Abenchuchan, E. |
| Fecha: | 2010-01-29 |
| Publicador: | Revistas UNAM |
| Fuente: |
 |
| Tipo: |
|
| Tema: |
DC reactive sputtering; discharge voltage; thin film Erosión iónica reactiva; voltaje de descarga; películas delgadas; modelo |
| Descripción: |
A Berg model application for ZrOX thin film deposition by DC reactive sputtering is presented. An alternative treatment to this model is proposed, focused on an engineering point of view. Berg model involves target poisoning as a compound covering a fraction of the target surface, pressure, input flow and pumping speed. In the alternative treatment presented, all these quantities –some hard to be measuredare condensed by considering variations in the target voltage and plasma impedance, that together comprises the discharge voltage. The advantage of this handling is that can be easily used by a field engineer, without necessity of advanced knowledge in material science. Se presenta una aplicación del modelo de Berg para el depósito de películas delgadas de ZrOX por la técnica de erosión iónica reactiva. Se propone un tratamiento alternativo de dicho modelo, adaptándolo a un punto de vista ingenieril. El modelo de Berg en su forma original considera el envenenamiento del blanco como una fracción de cobertura de la superficie del blanco, la presión de depósito, los flujos de entrada y la velocidad de bombeo. En el tratamiento alternativo que aquí se ejemplifica, todas estas cantidades - difíciles de medir en la práctica - se reducen a considerar solamente variaciones en la caída de voltaje en el blanco y la impedancia del plasma, que juntos conforman el voltaje de descarga. La ventaja de este tratamiento es que puede ser usado fácilmente por un ingeniero de campo, sin conocimientos en ciencias de materiales, para controlar las propiedades de la película a depositar. |
| Idioma: | Español |
1 Ordered Hunt Schemes for Overlaid CDMA Cellular Systems,Esquemas de ordenamiento en sistemas celulares sobrepuestos CDMA por Castañeda Camacho, J; Benemérita Universidad Autónoma de Puebla, Puebla, México,Lara Rodríguez, D; IPN | 6 Model for Adjustment of Aggregate Forecasts using Fuzzy Logic,Modelo para el ajuste de pronósticos agregados utilizando lógica difusa por Escobar Gómez, E N; Instituto Tecnológico de Tuxtla Gutiérrez Chiapas,Díaz Núñez, J J; Universidad Autónoma de Ciudad Juárez Chihuahua,Taracena Sanz, L F; Instituto Tecnológico de Querétaro, Querétaro |
2 Volatile Organic Compound Emissions from Light-Duty Vehicles During Cold-Starts,Emisiones de compuestos orgánicos volátiles durante arranques en frío de automóviles ligeros por Mendoza Domínguez, A; Tecnológico de Monterrey, Campus Monterrey, Nuevo León, México,León Romero, M A; Tecnológico de Monterrey, Campus Monterrey, Nuevo León, México,Caballero Mata, P | 7 Matrix Formulation of Foundations for Vibrating Machinery in Frequency Domain,Formulación matricial de cimentaciones para maquinaria vibratoria en el dominio de la frecuencia por Carbajal Romero, M F; Instituto Politécnico Nacional. México DF,Rodríguez Castellanos, A; Instituto Mexicano del Petróleo. México DF,Rodríguez Sánchez, J E; Instituto Mexicano del Petróleo. México DF,Flores Méndez, E; IPN |
3 Hydrogen Sorption Properties of the Intermetallic Mg2Ni Obtained by Using a Simoloyer Ball Milling,Propiedades de ab-desorción de hidrógeno del intermetálico Mg2Ni obtenido empleando un molino de bolas Simoloyer por Martínez Franco, E; IPN,Klassen, T; GKSS, Research Center Geesthacht, Germany,Jaramillo Vigueras, D; IPN,Bormann, R; GKSS, Research Center Geesthacht, Germany | 8 Numerical Approach to an Outflow Hydrograph of a Dambreak,Estimación numérica del hidrograma de salida de una presa debido a su ruptura por Fuentes Mariles, O A; Universidad Nacional Autónoma de México,Arganis Juárez, M L; UNAM,De Luna Cruz, F; UNAM,Franco, V; UNAM |
4 Electrical Parameters Extraction of CMOS Floating-Gate Inverters,Extracción de parámetros eléctricos de inversores CMOS de compuerta flotante por Molinar Solís, J E; Universidad Autónoma del Estado de México,Ponce Ponce, V H; IPN,García Lozano, R Z; Universidad Autónoma del Estado de México,Díaz Sanchez, A; Instituto Nacional de Astrofísica, Óptica y Electrónica INAOE,Rocha Pérez, j M; Instituto Nacional de Astrofísica, Óptica y Electrónica INAOE | 9 Back Work Ratio of Brayton Cycle,La relación de trabajo de retroceso de un ciclo Brayton por Malaver de la Fuente, M; Universidad Marítima del Caribe, Venezuela |
5 Active Rectifier with Extended Functions: An Option to Voltage Sags Ride Through and Power Quality Improvement,Rectificador activo con funciones ampliadas: una alternativa para la compensación de sags de voltaje y mejorar la calidad de la red eléctrica por Núñez Gutiérrez, C A; Universidad Autónoma de San Luis Potosí, SLP,Lira Pérez, J; Universidad Autónoma de San Luis Potosí, SLP,Pazos Flores, F; Universidad Autónoma de San Luis Potosí, SLP,Echavarría Solís, R; Universidad Politécnica de Victoria, Ciudad Victoria, Tamaulipas | 10 Flood Predictions Combining Regional and Single Site Hydrometric Information,Predicción de crecientes combinando información hidrométrica local y regional por Campos Aranda, D F; Universidad Autónoma de San Luis Potosí |