| Título: | Películas delgadas de circonia estabilizada con itria depositadas mediante erosión catódica |
| Autores: | DANIEL RICARDO ORTIZ PALACIOS |
| Fecha: | 2009-08 |
| Publicador: | CIMAV |
| Fuente: |
 |
| Tipo: | info:eu-repo/semantics/masterThesis |
| Tema: | info:eu-repo/classification/cti/2 |
| Descripción: |
Las películas de los óxidos de ZrO2-Y2O3 y ZrO2 han sido aplicadas en
recubrimientos para barreras térmicas, electrodos en ventanas inteligentes y
celdas de combustible. El objetivo de este trabajo es encontrar condiciones
óptimas para la deposición de películas delgadas de ZrO2-Y2O3 al 8 y 3% molar,
variando el flujo, la temperatura, la potencia y el tipo de sustrato. Caracterizar
morfológicamente las películas determinando su energía de banda prohibida a
través de espectros de % de Transmitancia y encontrar la relación que tiene con la
morfología del material y las fases que presenta. Las películas delgadas fueron
depositadas usando un sistema de erosión catódica con magnetrón y fuente de
radio frecuencia, el blanco usado fue un disco de ZrO2-Y2O3 al 8 y 3% molar. Los
sustratos utilizados fueron de vidrio y silicio orientado (100) sujetados a un porta
sustratos con rotación. Las películas depositadas sobre vidrio fueron caracterizadas utilizando un espectrómetro UV-Vis. La estructura cristalina fue determinada por difracción de rayos X. Finalmente, la morfología y el tamaño de partícula fue determinado usando el microscopio de fuerza atómica. Las películas depositadas al 8% sobre silicio y vidrio presentan fase cúbica con una orientación preferencial (111). De los datos de transmisión óptica fue calculada una energía prohibida entre 4.2 a 4.3 eV. Las películas depositadas al 3% presentaron una fase tetragonal con una orientación preferencial (101) |
| Idioma: | |
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