| Título: | Proceso de grabado seco de silicio monocristalino para aplicaciones en guías de onda coplanares |
| Autores: |
Leal-Romero,R. Zaldivar-Huerta,I.E. Reynoso-Hernández,J.A. Reyes-Betanzo,C. Maya-Sánchez,M.C. Aceves-Mijares,M. |
| Fecha: | 2010-02-01 |
| Publicador: | SCIELO |
| Fuente: |
 |
| Tipo: | journal article |
| Tema: |
Silicio monocristalino guía de onda coplanar (CPW) grabado seco SRO |
| Descripción: | En este trabajo se estudia la utilización de grabado anisotrópico y SRO con la finalidad de mejorar el rendimiento de las guías de onda coplanares. Se presentan resultados experimentales de grabado seco de silicio monocristalino para su aplicación en la fabricación de guías de onda coplanares (CPW's) empleando un reactor RIE/ICP. Se observa la contribución de los componentes tanto físicos como químicos de grabado seco. Los gases reactivos que se utilizan son el hexafluoruro de azufre (SF6) mezclado con oxígeno (O2). Para el grabado se emplean enmascarantes de fotorresina (FR) y óxido de silicio (SiO2), este último es obtenido mediante depósito químico en fase vapor a presión atmosférica (APCVD). Se obtienen velocidades de grabado de 2.8 a 3.4 µm/min al utilizar SiO2 como enmascarante. |
| Idioma: | Español |
1 | 6 Fracturas maxilofaciales y factores asociados en derechohabientes del IMSS Campeche, México: Análisis retrospectivo 1994-1999 por Medina-Solis,Cario Eduardo,Córdova-González,José Luis,Casanova-Rosado,Alejandro José,Zazueta-Hernández,Maria Alejandra |
2 | 7 Factores de riesgo de mortalidad en el hijo de madre toxémica por Gómez-Gómez,Manuel,Danglot-Banck,Cecilia,García-de la Torre,Guadalupe Silvia,Antonio-Ocampo,Abdiel,Fajardo-Gutiérrez,Arturo,Sánchez-García,Maria Luisa,Ahumada-Ramírez,Elias |
3 Cerámicas mexicanas para cicatrización de piel por Piña-Barba,María Cristina,Tejeda-Cruz,Adriana,Regalado-Hernández,Miguel Ángel,Arenas-Reyes,María Isabel,Martín-Mandujano,Salvador,Montalvo,César | 8 I. De la enseñanza tutoral al aprendizaje a distancia por Cravioto,Alejandro |
4 Seguimiento de egresados de un diplomado en enseñanza de la Medicina por Ponce de León-Castañeda,Ma. Eugenia,Ruíz-Alcocer,Ma. del Carmen,Lozano-Sánchez,J. Rogelio | 9 II. La vocación científica: compromisos con el cambio permanente y la educación continua por Kretschmer,Roberto |
5 Primer estudio de teledermatología en México: Una nueva herramienta de salud pública por Lepe,Verónica,Moneada,Benjamín,Castanedo-Cázares,Juan Pablo,Martínez-Rodríguez,Alejandra,Mercado-Ceja,Sergio M,Gordillo-Moscoso,Antonio | 10 |